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噴膠機的介紹及使用方法
作者:東莞市騰拓自動化    來源:      發布于:2017/3/29     點擊:3688次

  噴膠機是現代光電子產業中光刻膠涂布的重要設備。可對不同尺寸和形狀的基片進行涂膠,最大涂膠尺寸達8”,得到厚度均勻的光刻膠層,同時可對大深寬比結構的側壁進行均勻涂膠;通過計算機系統控制器進行工藝參數的編輯和操作。

噴膠機對噴膠使用性能如下:

1.可用于對不同形狀尺寸的基片進行噴膠.最大噴膠尺寸要求達到8”。

2.可對不粘度的膠進行噴涂,供膠分辨率在15uL以內。

3.可對大深寬比結構進行側壁涂膠,得到厚度均勻的膠膜。

4.噴膠均勻性要求:單片表面≤±15%,片間為≤±10%。

5.計算機系統控制工藝參數。

6.可手動卸載基片。

7.可對基片喝夾具加熱。

8.噴膠室易清洗。

9.供膠流速和流量可編程。

10.供膠回吸量可調節。

11.適用于所有光刻膠和聚合物。

12.具有自動針管式膠液供給系統,可調節壓力控制及測量計,并具有膠液回吸功能。

 13.基片可對準等等。m.fnir.cn

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